特性 |
値 |
直径
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2 m
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長さ
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3 m
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材料
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SUS
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最低圧
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1.2 x 10-3 Pa (投入ガス流量なし、2018.11.基準) |
ポンプ名 |
排気速度 |
回転真空ポンプ 株式会社アルバック KS-150 |
250 l/s x 2台
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メカニカルブースターポンプ 株式会社アルバック MB-10000 |
10,000 m3/h x 1台
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油拡散ポンプ 株式会社アルバック PFL-36 |
37,000 l/s x 1台
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標準型クライオポンプ 株式会社アルバック CRYO-U20P |
10,000 l/s x 1台
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実施内容 |
1. 扉開閉幅の拡大
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2. クライオポンプ(現有)の移設
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3. 温度可変ステージ(-10 - +60度)導入
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4. 門型クレーン設置
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5. シュラウドと液体窒素用ラインの設置
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